角分辨散射光测量服务承接

光的散射特性对高端光学表面、薄膜和材料的发展起着至关重要的作用。对于光学表面，常常用粗糙度来确定光学表面受散射影响后的光学特性。对于诸如不均匀体、亚表面损伤和局部缺陷的散射常常会忽略掉，而这些散射对系统有很大的影响，如造成散射损耗、像质变差等。
 

角分辨散射测量法及其应用
 

利用光散射测量光学粗糙表面是目前发展较为快速和成功的技术，人们对这种技术做了大量的研究工作，使得光散射系统已经成为测量光学元件表面质量的主要手段之一。概括起来，光学表面的散射测量方法主要包括角分辨散射测量法和总积分散射测量法，二者分别以矢量散射理论和标量散射理论为理论基础。角分辨散射(AngleResolvedScattering，简称ARS)测量法是利用散射光的光强及其分布来测量表面粗糙度参数。总积分散射(TotalIntegratedScattering，简称TIS)测量法中，入射光以很小的入射角照射到随机粗糙表面上，用积分球收集粗糙表面散射的漫反射光或者包含镜向反射在内的总体反射光。TIS法一般仪器结构简单、成本低、测量速度快、不易受环境影响，但最主要缺点是无法获得光学表面形貌的全部特征及散射光的空间分布。ARS法虽然仪器结构复杂，成本较高，但能够精确测量光散射的空间分布，并通过其全空间积分，得到表面的总积分散射值，从而能够获取更完整更详细的散射特性。ARS测试如下图：

 

 

在红外元件、低损耗反射镜（如激光腔镜）、表面粗糙度及缺陷、衍射光栅、薄膜、光学材料的体散射、无破坏的亚表面损伤测量、光谱散射等精密器件及高精领域中，通常都需要对散射特性进行定量评估，不仅能得到散射分布，更能够帮助我们对光学表面进行表征，如金刚石车削的铝反射镜，左图是车削痕迹引起的衍射为主的散射分布，而右图则是振动引起的衍射峰被抑制而入射面外散射增强。而散射损耗的测量在短波长、高分辨率、光刻、天文、激光等领域中尤为重要。
 

 

主要测试设备