高NA物镜聚焦的分析

摘要

 

高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。

 

 

建模任务

 

概观

 

光线追迹仿真

 

•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。

 

光线追迹仿真

 

 

 

场追迹仿真

 

 

 

场追迹结果（摄像机探测器）
 

场追迹结果（电磁场探测器）

 

文件信息

 

 

更多阅览
- Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer
- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination