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用于测量光学元件散射光的仪器-散射仪(2)
时间:2015-03-23 21:35来源:讯技光电作者: 营销部点击:打印
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图2:散射几何:极角 和散射方位角 ,入射角 以及坐标 
图3:ALBATROSS仪器,将EUV收集器反射镜安装在样品定位系统上用于粗糙度测量和绘制整个表面
图4:在不同波长下的仪器测试以及超光滑玻璃基底在523nm下的ARS
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