基于VirtualLab Fusion的原子光刻基片定位方案的光学系统仿真

张宝武¹，霍剑锋¹，饶鹏辉²，张明月¹，刘媛媛¹，余桂英¹，王道档¹
（1.中国计量大学计量测试工程学院，浙江 杭州310018； 2.讯技光电科技（上海）有限公司，上海200092）

摘要：为了探究原子光刻中基片与会聚激光场间距对沉积纳米光栅质量的影响，我们基于VirtualLab Fusion平台实现了基片定位控制方案中光学系统的建模和仿真。结果显示：基片在切割会聚激光时将产生直边衍射图像，其轮廓形状和最大值都会随着基片切割激光截面区域大小的变化而变化：虚拟光电探测器上所得到的反射光强度值将随着基片－会聚激光间距的变化给出了倒置的高斯线型，其最低点出现在基片中心和会聚激光场轴线重合时的位置上。当会聚激光场截面恰好被基片阻挡一半时，探测处的强度值降至45.5%。这种光强随基片位置的变化情况为精确地定位基片位置提供了理论支撑。

关键词：原子光刻；铬原子；会聚激光；VirtualLab Fusion平台