集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

通过连续减小CMOS传感器的像素尺寸，近几十年来已经实现了越来越好的空间分辨率，并且这种趋势有望继续。但是，这便将关注点放到位于每个像素顶部的微透镜上。当像素尺寸接近波长时，微透镜是否仍可以按预期聚焦光线？我们在选定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此问题。

 

集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
 

 

使用严格的FMM / RCWA，我们模拟了像素大小等于或小于2 µm的CMOS传感器，尤其是研究了微透镜的有效性。

 

使用界面配置光栅结构

 

 

在VirtualLab Fusion中，光栅结构是在“堆栈”中配置的，根据光栅的几何形状，可以用一系列界面或特殊介质构造光栅结构。在这种使用情况下，说明了基于界面的光栅结构的配置。

 

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