TRCX应用：显示面板工艺裕量分析 - 讯技光电科技(上海)有限公司

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TRCX应用：显示面板工艺裕量分析

时间:2024-02-21 15:51来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印

制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素，如CD余量，掩膜错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果，包括分布式计算环境中的寄生电容分析，以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。

（a）参照物

（b）膜层未对准

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