JCMsuite应用：闪耀光栅

这是一维周期线光栅案例的一个变形。它的灵感来自闪耀光栅。在一维线栅的案例中，周期单元晶胞包含通过光栅的二维横截面。这里的横截面包含两个宽度、高度和角度不同的三角形。这些三角形线条位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。

 

光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。同时通过后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。

 

S偏振光照明的近场强度

P偏振光照明的近场强度