JCMsuite应用：一维周期线栅 - 讯技光电科技(上海)有限公司

当前位置: 主页 > 服务项目 > 案例分析 > JCMSuite >

JCMsuite应用：一维周期线栅

时间:2023-04-03 16:29来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印

这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。

光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。

S偏振光照明的近场强度

P偏振光照明的近场强度

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。

参数扫描

Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度：

在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系：

关于我们公司介绍专家团队人才招聘讯技风采员工专区	服务项目产品销售课程中心专业书籍项目开发技术咨询
		联系方式地址：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室邮编：201802 电话：86-21-64860708/64860576/64860572 传真：86-21-64860709 课程：course@infotek.com.cn 业务：sales@infotek.com.cn 技术：support@infotek.com.cn	官方微信

关于我们公司介绍专家团队人才招聘讯技风采员工专区	服务项目产品销售课程中心专业书籍项目开发技术咨询
		联系方式地址：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室邮编：201802 电话：86-21-64860708/64860576/64860572 传真：86-21-64860709 课程：course@infotek.com.cn 业务：sales@infotek.com.cn 技术：support@infotek.com.cn	官方微信