方形晶胞 - 讯技光电科技(上海)有限公司

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方形晶胞

时间:2022-03-16 20:47来源:未知作者: infotek点击:次打印

这是一个简单的二维光栅的案例，它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)，并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。

光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度

S偏振光照明的场矢量

P偏振光照明的场矢量

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。

参数扫描

Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度：

在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下，其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系

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