JCMSuite应用：光场通过六方晶胞的近场分析

这是一个简单的二维光栅的例子，具有双重周期(六方)晶格。三维单元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含两个不同的菱形(平行六面体)，位于衬底上，被背景材料包围。我们选择了一个直角线单元晶胞(最小原始单元格)来避免结构的计算域边界的不利切割。案例中的材料选择为铬(菱形)，玻璃(基底)和空气(背景材料)。

 

光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度

S偏振光照明的场矢量
 

 

P偏振光照明的场矢量
 

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。