如何在PanDao软件中输入形状精度参数？

PanDao软件当前可以接受ISO10110标准定义的形状精度参数格式3/A(B)，其中A代表功率公差，B代表不规则性。

 

测量单位是条纹数，表示的是波前偏差（非表面高度偏差），该方法源自光学大师手工抛光制作测试板（T）进行面形偏差测量的传统技术（该检测装置也见于斐索干涉仪中）。

 

被测表面(S)的面形误差（表面高度H）是通过将表面的形状与测试板(T)的标准形状（通常精度＜1/20波长）进行对比测量得到的。具体方法是使测试板反射光(T')与待测面反射光(S')发生干涉，此时表面S的高度偏差H在干涉图中表现为2*H（即波前差）。

 

PanDao软件默认以546.07nm波长（汞绿光谱线）读取形状精度参数3/A(B)。546.1nm波长的光是由汞蒸气灯在电激发下产生的绿色发射谱线，在激光技术问世前广泛应用于光学检测、对准及校准。根据ISO10110标准，用户可通过修改3/@lambda中的相关条目来自由设定其它检测波长。

例如，当不规则性B对应的高度偏差H为1微米时，B = (1000/546.07)*2 = 3.66条纹；若功率误差对应高度偏差为2微米，则该表面的形状精度参数为3/7.32(3.66)。