镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟(2) - 讯技光电科技(上海)有限公司

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镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟(2)

时间:2013-02-07 01:00来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印

选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。

堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。

X线偏振光模拟结果：

探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。

在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。

Y线偏光模拟结果

对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。

结论：

严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。

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