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不同轮廓亚波长光栅的成像
时间:2018-04-09 11:24来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
1. 摘要

亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。
 
2. ·建模任务
 
 
3. 结果
 
 
4. 文件和技术信息
 
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