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倾斜光栅的参数优化与容差分析
时间:2019-11-07 15:13来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
摘要
 
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 


 
设计任务

 
1级参数优化

 
结果-容差分析

 
结果-容差分析

 
VirtualLab Fusion一瞥

 
VirtualLab Fusion中的工作流程
 
构建光栅结构
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
倾斜光栅高级设定[用例]
•光栅衍射效率分析
光栅阶序分析器[用例]
•使用参数优化进行光栅参数优化
•使用参数运行的容差分析
 

VirtualLab Fusion技术

 
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