用于光学检测的斐索干涉仪

摘要

 

斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。

 

建模任务

 

观测倾斜平面

 

观测柱面

 

观测球面

 

走进VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion的工作流程

 设置输入场

- 基本光源模型 [教学视频] 

 使用表面构造真实元件

 

 定义元件的位置和方向

- LPD II：位置和方向 [教学视频] 

 为非序列场追迹设置合适的通道

- 非序列场追迹的频道设置 [用例] 

 

VirtualLab Fusion技术

 

文件信息

 

延伸阅读
- 基于激光的迈克尔逊干涉仪和干涉条纹探测

- 马赫-泽德干涉仪