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闪耀超颖光栅的建模与设计

闪耀超颖光栅的设计

锥形相位掩模的Talbot像
时间:2020-11-18 09:20来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
摘要
 
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。

 
建模任务

结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
 
某一位置的Talbot图样

  
某一位置的Talbot图样

 
不同位置的Talbot图样

 
不同位置的Talbot图样

 
沿Z轴的强度

 
走进VirtualLab Fusion

 
VirtualLab Fusion的工作流程
 
构建光栅结构
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 
 
通过参数运行计算不同位置的强度
- 参数运行文件的使用 [用例] 
 
 
VirtualLab Fusion技术

  
文件信息

 
延伸阅读
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
- 光栅级次分析器
- Talbot效应的建模
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