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用于光学检测的斐索干涉仪
时间:2023-04-24 10:35来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
摘要
  
斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备,通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下,我们建立了一个Fizeau干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,例如圆柱形和球形表面。结果表明,表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。

 
建模任务 
 
 
测试表面

 
非序列追迹

 
通用探测器和探测器附加组件
 
 
总结-组件


 
观测下的倾斜平面

 
被观测圆柱面
 
 
被观测球面

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