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利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化
时间:2011-08-25 09:34来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印

本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat

 

关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干

 

所需工具箱:Starter Toolbox Premium

 

相关TutorialsHSL.1, DO.2

 

建模任务

 衍射扩散传输器                          目标平面

 


          准分子激光                聚焦透镜(f=20mm                强度分布
 

照射光束参数

 

·光源面尺寸:100×100um

·发散角(HWHM):0.89×0.89°

·空间相干长度:3×3 um

·波长:351nm

 

衍射发散器

 


·取样间隔:5um

·尺寸:640×640um

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