利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化(2) - 讯技光电科技(上海)有限公司

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利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化(2)

时间:2011-08-25 09:34来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印

·相位阶数：8

发散传输器相位

载入光路径图

·载入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。

· 该文件在本案例VL_Samples文件夹中。

高斯型面光源

双击Gaussian Type Plane Source打开编辑对话框。

·Gaussian Type Plane Source利用一些非相干高斯光源来模拟空间相干光源。

· 光源需通过以下设置来对准分子激光束建模。

· 第一步将波长设为351nm。

· 在Power Spectrum Type下拉框中选择Single Wavelength。（VirtualLab同样支持多波长的模拟。）

·转到Spatial Parameters

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