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光栅起偏器的参数优化
时间:2013-02-06 23:21来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
案例315.01:光栅起偏器的参数优化
 
这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。
 
关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长
 
所需工具箱:高级光栅工具箱
 
相关案例:100.01,101.01
 
相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021
 
建模任务:
 
平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。
 
 
优化目标:
 
—TE模偏振光的透过率最大化
 
—TM模偏振光的透过率最小化
 
优化函数:
 
—最小化TE的透过率 
 
—最小化偏振度(要求>50:1) 

  
—使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化

 
优化的自由变量为:
 
—缝宽:10—190mm
 
—光栅深度:20—200nm
 
优化算法:
 
—使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。
—参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。
 
光路流程图和偏振分析器:
 
偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。
 
对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。
 
Parameter Run 的全局搜索:
 
Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。
 
Parameter Run 设置
 
缝宽:10—19nm 步长10nm;
 
规划深度:20——200nm 步长10nm;
 
使用扫描模块进行所有参数的整合研究。
 
在自由参数模块中选择深度和缝宽。
 
使用扫描模块进行参数联合调查。
优化函数依据迭代次数进行显示:
 
左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。
 
TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。
 
参数构成:
 
缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%;
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