光栅起偏器的参数优化(2) - 讯技光电科技(上海)有限公司

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光栅起偏器的参数优化(2)

时间:2013-02-06 23:21来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印

局部参数优化：

使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。

起始值为：缝宽：50nm，规划深度200nm；

参数和优化函数被严格定义，以便在TE透过率，偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。

参数定义：

规划深度为20-200nm，权重1e20

缝宽10—190nm权重1e20

优化函数定义：

——TE效率最小值被最大化（全波段）

——偏振对比度大于50（全波段）

——均匀误差最小化，但对于通用优化函数只具有较低影响。

选择下山简法进行局部优化。

左图显示了最小化TE透过率，右图显示了最小化偏振对比度。

优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。

优化过的参数为：

缝宽：46nm；规划深度200nm；最小化偏振对比度50；TE透过率的均匀误差7%

结论：

偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。

Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。

最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。

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